半导体制造两集束型装备调度模型和算法研究

• 作者: 李林瑛 胡静涛
• 来源期刊: 系统仿真学报
• 学科: 工学
• 关键词: 半导体制造 两集束型装备 调度 线性规划模型
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 1942-1946
• 分类号: TP241.2|TP278
• 语种: 中文

摘要

针对单臂机器人的两集束型装备调度问题,利用分解方法将两集束型装备分解为两个单集束型装备.证明了分解后单集束型装备的缓冲模块加工时间必定在一个允许的时间范围内,并建立单集束型装备调度问题的线性规划(Linear Programming,LP)模型,提出了基于LP模型和机器人元碰撞约束条件的搜索算法.以半导体制造化学机械抛光设备为例,验证了模型和算法的有效性.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	胡静涛	中国科学院沈阳自动化研究所工业信息学重点实验室	71	928	17.0	28.0
2	李林瑛	中国科学院沈阳自动化研究所工业信息学重点实验室	3	25	3.0	3.0