全玻璃SS-AlN金属陶瓷真空太阳集热管

• 作者: 周旭 孟秀清 池华敬 王双 章其初 陈革
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空太阳集热管 太阳吸收涂层 金属陶瓷 磁控溅射 镀膜机 集热管镀膜线
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 27-32
• 分类号: TB43
• 字数: 4083字
• 语种: 中文

摘要

不锈钢-氮化铝(SS-AlN)金属陶瓷太阳选择性吸收涂层于1995年在实验室制备成功,采用真空磁控溅射沉积.太阳吸收复合膜采用干涉吸收型膜层结构,由不同金属含量的两层金属陶瓷层组成吸收层.金属陶瓷吸收层采用在镀膜室中SS和Al金属靶,在溅射气体Ar和反应气体N2中同时溅射运行,SS靶非反应溅射沉积SS金属组分,Al靶反应溅射沉积AlN陶瓷组分.实验室沉积的SS-AlN吸收涂层的太阳吸收比高达94%～96%,室温辐射比3.5%～4.0%.皇明公司2001年开始产业化生产全玻璃SS-AlN真空太阳集热管.我们开发了立式集热管连续镀膜线,第一条镀膜线于2007年调试成功,投入生产.集热管镀膜线真空系统长约41 m,高约3 m.每条线日产约为1.8～2.0万支.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	池华敬	皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所	14	44	5.0	6.0
2	陈革	皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所	18	123	5.0	11.0
3	章其初	皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所	16	121	5.0	10.0
4	周旭	皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所	10	33	3.0	5.0
5	王双	皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所	13	44	5.0	6.0
6	孟秀清	皇明太阳能股份有限公司镀膜研究所	3	32	2.0	3.0