光快速热处理温度对氧化银多孔薄膜微结构和表面形貌演化的影响

• 作者: 冯红亮 张增院 梁艳 郜小勇 马姣民
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 氧化银薄膜 磁控溅射 光快速热处理 多孔薄膜
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 13-15
• 分类号: TN304.2+5
• 字数: 2251字
• 语种: 中文

摘要

利用直流反应磁控溅射技术,在玻璃衬底上制备了氧化银薄膜.X射线衍射和扫描电子显微镜表明制备的氧化银薄膜主要由Ag和Ag2O组成,具有疏松、多孔的表面特征.制备的氧化银薄膜经过5 min光快速热处理后,薄膜由多晶转变为非晶;随着退火温度由200℃升高到300℃,氧化银薄膜表面由疏松、多孔结构向沟道、坑和孔洞联通结构,再向孔洞和洼地结构演变.这些演变归结为氧化银薄膜的不稳定性和严重的表面再构的结果.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	郜小勇	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	52	301	10.0	14.0
2	冯红亮	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	4	7	2.0	2.0
3	马姣民	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	6	8	2.0	2.0
4	梁艳	河南工业大学设计艺术学院	8	5	1.0	1.0
5	张增院	郑州大学物理工程学院材料物理教育部重点实验室	4	6	2.0	2.0