衬底温度对Mg0.1Zn0.9O薄膜结构及光学性能的影响

• 作者: 李东临 武光明 王怡 邢光建 郭瑞
• 来源期刊: 材料导报
• 学科: 物理学
• 关键词: Mg0.1Zn0.9O薄膜 射频磁控溅射 衬底温度 光致发光(PL)谱
• 年，卷（期）: 2010,（z2）
• 页码范围: 373-375,380
• 分类号: O484.4+1
• 字数: 2970字
• 语种: 中文

摘要

利用射频磁控溅射技术在不同温度的(100)Si和玻璃衬底上成功地制备了c轴择优取向的Mg0.1Zn0.9O薄膜.通过X射线衍射(XRD)、场发射扫描电镜(FESEM)、紫外可见光分光光度计和光致发光谱研究了衬底温度对Mg0.1Zn0.9O薄膜结构、表面形貌和光学性能的影响,结果表明,在衬底温度为400℃时生长的Mg0.1Zn0.9O薄膜具有很好的c轴取向和较好的光学性能.用激发波长为300nm的氙灯作为激发光源得到不同衬底温度下Mg0.1Zn0.9O薄膜的室温PL谱.分析表明,紫外发光峰与薄膜的结晶质量密切相关,蓝光发射与氧空位有关.简单探讨了衬底温度影响紫外光致发光峰红移和蓝移的可能机理.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	武光明		41	238	8.0	14.0
2	王怡		23	121	6.0	10.0
3	邢光建		30	127	6.0	11.0
4	郭瑞	北京化工大学材料科学与工程学院	4	38	2.0	4.0
8	李东临		11	30	3.0	5.0