有限元分析法在SOI基微环谐振器设计中的应用

• 作者: 于欣 张世林 张彬 毛陆虹 谢生 郭维廉 陈燕
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 工学
• 关键词: 集成光学 微环谐振器 单模条件 波导耦合器
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 599-604
• 分类号: TN252|TN256
• 字数: 2411字
• 语种: 中文

摘要

利用有限元法(FEM)分析了大横截面SOI(Silicon-on-insulator)脊型波导的本征模式分布,确定了脊型波导的单模条件.在保证单模传输的情况下,模拟了SOI微环谐振器中波导耦合器的耦合长度、功率耦合系数与波导尺寸和间距的关系.模拟结果表明:对于W=1μm,H=2μm的SOI脊型波导耦合器,耦合长度Lc随波导间距d的增加而增大,功率耦合系数随之减小.在波导间距d<O.8 μm的情况下,耦合长度Lc随着归一化脊高r的增加而增大,当d>0.8 μm时,耦合长度Lc随r的增加而减小.模拟结果为SOI微环谐振器的设计和应用提供了理论依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	毛陆虹	天津大学电子信息工程学院	165	736	12.0	20.0
2	张世林	天津大学电子信息工程学院	109	334	8.0	11.0
3	郭维廉	天津大学电子信息工程学院	145	419	10.0	12.0
4	陈燕	天津大学电子信息工程学院	12	28	3.0	5.0
5	谢生	天津大学电子信息工程学院	68	232	7.0	11.0
6	张彬	天津大学电子信息工程学院	10	69	4.0	8.0
7	于欣	天津大学电子信息工程学院	8	55	4.0	7.0