光栅干涉位移测量技术发展综述

• 作者: 王国超 田震 谢学东 颜树华 高雷
• 来源期刊: 激光技术
• 学科: 工学
• 关键词: 测量与计量 位移 光栅 干涉条纹
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 661-664,716
• 分类号: TH741
• 字数: 4217字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-3806.2010.05.023

摘要

介绍了经典双光栅测量系统、非对称双级闪耀光栅测量系统、单光栅测量系统、基于2次莫尔条纹的光栅测量系统、同心圆光栅2维位移测量系统、2维光栅位移测量系统的测量原理,阐述了各系统的关键问题及不足之处.同时结合双频激光干涉仪外差干涉思想,在单光栅测量系统的基础上,提出了双波长单光栅式纳米级位移测量方法,并通过分析系统特点指出该方法能实现大量程测量、获得纳米级的精度和分辨力.在对各种测量方法进行综合比较之后,总结了光栅测量的关键问题,并展望了光栅干涉位移测量的未来发展方向.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	颜树华	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	13	99	5.0	9.0
2	田震	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	2	30	1.0	2.0
3	王国超	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	8	72	4.0	8.0
4	谢学东	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	2	34	2.0	2.0
5	高雷	国防科学技术大学机电工程与自动化学院	1	30	1.0	1.0