等离子体还原四氯化硅生产三氯氢硅试验

• 作者: 印永祥 戴晓雁 李育亮 陈涵斌
• 来源期刊: 氯碱工业
• 学科: 工学
• 关键词: 三氯氢硅 四氯化硅 直流放电等离子体 收率 能耗
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 产品
• 页码范围: 30-33
• 分类号: TQ127.2
• 字数: 2524字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-133X.2010.01.008

摘要

进行了用直流放电等离子体法还原四氯化硅生产三氯氢硅的试验,反应器的功率达到30 kW,三氯氢硅单程收率超过了60%,每生产1 kg三氯氢硅耗电4.55 kW·h.通过计算得到了氢气解离度、电离度与温度的关系,归纳出氢气的比定压热容随温度变化的函数,根据试验结果确定了氢气和四氯化硅的最佳进料配比.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	印永祥	四川大学化工学院	56	602	14.0	21.0
2	陈涵斌	四川大学化工学院	2	101	2.0	2.0
3	李育亮	四川大学化工学院	4	114	4.0	4.0
4	戴晓雁	四川大学化工学院	55	608	15.0	20.0