金刚石微铣刀头图形化法的制备研究

• 作者: 卢文壮 左敦稳 张敏 徐锋 朱良杰 王正鑫
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 化学
• 关键词: 微铣刀 CVD金刚石 图形化加工 模具复制
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 1391-1395
• 分类号: O611
• 字数: 2969字
• 语种: 中文

摘要

微细铣削加工技术是具有较高相对精度的精密三维微小零件的制造技术,微零件尺寸和精度在很大程度上依赖于微切削刀具的切削性能.CVD金刚石膜作为一种具有众多卓越特性的功能材料,是制造新型超硬微铣刀的优越刀具材料.本文开展了硅微模具图形化法沉积金刚石膜微铣刀头的实验研究,成功制作了特征尺寸为25 μm、50 μm和100 μm双层金刚石微铣刀头.SEM,ADE等分析结果表明采用的工艺能够获得表面质量好、形状和尺寸精度很高的金刚石微铣刀头,该工艺能够实现批量制造,是制作金刚石微铣刀的理想方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	张敏	南京航空航天大学机电学院	63	248	10.0	13.0
2	卢文壮	南京航空航天大学机电学院	94	520	12.0	17.0
3	左敦稳	南京航空航天大学机电学院	510	3780	26.0	32.0
4	徐锋	南京航空航天大学机电学院	85	541	13.0	18.0
5	王正鑫	南京航空航天大学机电学院	3	6	1.0	2.0
6	朱良杰	南京航空航天大学机电学院	2	6	1.0	2.0