DL-10型石英真空计的性能

• 作者: 唐镇松 张云峰 王逊
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空计 石英晶振 压强传感器 测量范围 谐振阻抗
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 72-74
• 分类号: TB772+.2
• 字数: 1557字
• 语种: 中文

摘要

本文叙述了DL-10型石英真空计的研制结果,它用Ф2×6型音叉状石英晶振作为压强传感器.该真空计测量范围是10～105Pa,误差约10%.石英真空计是应用石英晶振的谐振阻抗与气体压强有关的性能做的真空计.DL-10型石英真空计的振荡电路中的晶振同时也是压强传感器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王逊	北京大学电子学系	9	39	4.0	6.0
2	唐镇松	北京大学电子学系	6	59	5.0	6.0
3	张云峰	北京大学电子学系	9	31	4.0	5.0