基于玻璃的流量传感器研究

• 作者: 余柏林 余法红 王颖 龚汉东
• 来源期刊: 传感技术学报
• 学科: 工学
• 关键词: 玻璃衬底 温差式 空气流量传感器
• 年，卷（期）: 2010,（11）
• 页码范围: 1546-1549
• 分类号: TP212.1
• 字数: 2923字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1004-1699.2010.11.006

摘要

提出一种基于玻璃的空气质量流量传感器,该传感器具有制造工艺简单、测试范围宽和抗流体冲击能力强的特点.通过CFD软件模拟了传感器芯片在各种情况下的温度场分布,得到了流速与芯片上下游温差的关系曲线,理论分析表明基于玻璃的流量传感器最大流可测速可达10 m/s.采用半导体工艺制备了基于玻璃的流量传感器,通过测试得到了芯片的输出信号电压和流速的关系曲线,在流速范围为0～10 m/s时,输出信号电压没有出现饱和现象.当芯片表面掠过流速为10 m/s时,测得芯片放大信号电压可达1.51 V.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	余法红	武汉大学软件工程国家重点实验室	4	29	3.0	4.0