电容式RF MEMS谐振器

• 作者: 杨拥军 王立发 贾英茜 赵正平
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 谐振器 射频 谐振频率 品质因数 锚 电容间隙
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: MEMS器件与技术
• 页码范围: 99-104
• 页数: 6页
• 分类号: TH703
• 字数: 4824字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.02.008

摘要

介绍了应用于通信领域的电容式RF MEMS谐振器及其在通信系统小型化中的优势.对电容式微机械谐振器进行了综合分析,包括基本工作过程分析、基本参数的理论分析及等效电路的分析.介绍了目前几种常用结构的谐振器,包括梳状谐振器、梁式谐振器及盘式谐振器的工作过程和谐振频率的发展空间.重点分析了谐振器的电容间隙及锚这两个重要的结构参数对谐振器性能的影响.最后,对电容式微机械谐振器存在的问题作了总结,对其发展趋势做出展望.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	贾英茜	河北工业大学信息工程学院	13	100	6.0	9.0
5	赵正平	河北工业大学信息工程学院	22	61	5.0	5.0
9	王立发	河北工业大学信息工程学院	9	65	5.0	8.0
10	杨拥军	中国电子科技集团公司第十三研究所	44	220	7.0	13.0