Si(001)衬底上闪锌矿ZnO的制备与分析

• 作者: 吴雅苹 康俊勇 李书平 詹华瀚 陈晓航 黄斌旺
• 来源期刊: 发光学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 闪锌矿结构 氧化锌 分子束外延生长 硅(001)
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 页码范围: 209-213
• 分类号: O472.1|O482.31
• 字数: 3044字
• 语种: 中文

摘要

采用分子束外延方法在室温下于Si(001)表面上生长ZnO材料.实验发现:样品为闪锌矿和六角结构的ZnO混合多晶薄膜,其表面分布着一系列具一定取向的近似长方形的纳米台柱结构.在不同参数的高温退火后,这些梯形台柱将变小,形成梯形纳米环,或分解为较小的纳米柱及其团簇结构等.分析表明:ZnO混合多晶薄膜的形成,以及表面纳米台柱的演变,与Si(001)衬底、较低温的生长温度及热效应等因素相关联.