衬底温度对N-Al共掺杂ZnO薄膜形貌及光致发光性能的影响

• 作者: 包鲁明 李飞 艾飞 谭劲 钟爱华 陈圣昌
• 来源期刊: 功能材料
• 学科: 物理学
• 关键词: 超声喷雾热解法 衬底温度 形貌 室温光致发光
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 所属期刊栏目: 研究与开发
• 页码范围: 1008-1011
• 分类号: O484.1|O484.4+1
• 字数: 3642字
• 语种: 中文

摘要

采用超声喷雾热解法在不同衬底温度条件下沉积了N-Al共掺杂ZnO薄膜,衬底为普通硅酸盐玻璃.利用X射线衍射仪、原子力显微镜和荧光光谱仪表征了样品的晶体结构、形貌及室温光致发光性能.结果表明,ZnO颗粒尺寸随着衬底温度的升高而逐渐增大;低温下沉积的样品发光光谱中缺陷发射光占主导,随着衬底温度的升高这些缺陷发射光强度逐渐减弱,当温度升高到450℃时只有紫外发射光.缺陷发射光强度的减弱意味着薄膜缺陷浓度减小、晶体趋于完整,同时反映出施主型缺陷浓度随衬底温度的升高而逐渐减小,这对减弱ZnO薄膜p型掺杂时Vo或Zni等施主缺陷的自补偿效应很有意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	李飞	中国地质大学材料科学与化学工程学院	36	285	8.0	16.0
2	谭劲	中国地质大学材料科学与化学工程学院	17	95	5.0	9.0
4	钟爱华	中国地质大学材料科学与化学工程学院	1	5	1.0	1.0
7	陈圣昌	中国地质大学材料科学与化学工程学院	1	5	1.0	1.0
8	包鲁明	中国地质大学材料科学与化学工程学院	3	15	3.0	3.0
9	艾飞	中国地质大学材料科学与化学工程学院	3	15	3.0	3.0