辅助PECVD的磁场模拟计算与分析

• 作者: 汪洪波 王君 赵晶晶 陈长琦
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: PECVD 等离子体 辅助磁场 螺线管
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 薄膜
• 页码范围: 27-30
• 页数: 4页
• 分类号: O532.11
• 字数: 2359字
• 语种: 中文

摘要

本文介绍了磁场辅助PECVD工作原理,磁场对沉积薄膜的影响.通过对PECVD中磁场对带电粒子的约束作用、等离子体能量转换频率分析,建立辅助磁场模型并进行数值计算.在现有辅助磁场基础上改进设计适用于PECVD设备的螺线管磁场系统,得到不同物理条件下磁场分布规律.进而确定螺线管结构参数得到均匀分布的磁场,为辅助PECVD磁场的应用提供了一种方法.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈长琦	合肥工业大学机械与汽车工程学院真空科学技术与装备研究所	119	1027	16.0	26.0
2	汪洪波	合肥工业大学机械与汽车工程学院真空科学技术与装备研究所	52	427	12.0	18.0
3	王君	合肥工业大学机械与汽车工程学院真空科学技术与装备研究所	32	131	7.0	9.0
4	赵晶晶	合肥工业大学机械与汽车工程学院真空科学技术与装备研究所	5	10	2.0	3.0