复合薄膜热导率测试系统研究

• 作者: 余隽 冯冲 吕安新 唐祯安
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 薄膜 悬臂梁 热导率测试系统
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 76-78,81
• 分类号: TP273
• 字数: 2311字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2010.12.024

摘要

针对薄膜热物性测量还没有成熟的测试系统,设计了一种基于微桥静态测量法的复合薄膜热导率测试系统.该系统由PC机、仪器控制与数据采集模块、可控温真空系统构成.软件编程在LabVIEW平台上实现.利用该系统测量了由SiO2薄膜和多晶硅薄膜组成的悬臂梁结构的复合薄膜热导率.在10-4Pa真空中,测得悬臂梁平均温度320～400K范围内的等效热导率在9～12w/(m·K),其热导率随着温度升高而增大,测试结果和理论值一致.实验表明:系统测试效率高、通用性好,且易于扩展.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐祯安	大连理工大学电子科学与技术学院	142	1281	17.0	29.0
2	余隽	大连理工大学电子科学与技术学院	37	252	7.0	14.0
3	冯冲	大连理工大学电子科学与技术学院	5	45	3.0	5.0
4	吕安新	大连理工大学电子科学与技术学院	2	5	1.0	2.0