基于虚拟仪器的动态非接触式硅片测试仪

• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 虚拟仪器 动态测试 非接触式测量 电容传感器 电涡流传感器
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 设计与制造
• 页码范围: 59-61
• 分类号: TP206
• 字数: 2487字
• 语种: 中文

摘要

阐述了动态非接触式硅片测试仪的原理、组成、功能和特点.从虚拟仪器的原理出发,构建了基于虚拟仪器的动态非接触式硅片测试平台,它将电容位移传感器测距技术、电涡流传感器体电阻测试技术和红外光脉冲传感器半导体P/N极性测试技术进行有机的融合,不仅模拟了信号发生器、数字示波器、程控电源、数字万用表等测试仪器,而且,还具有数据管理、运动控制、位置检测等功能,能对太阳能电池硅片厚度、电阻率、P/N极性等参数进行高速、精确检测和动态筛选,是光伏产业大规模生产的必备之选.