利用AFM对单晶硅表面加工化学反应理论分析

• 作者: 朱宇君 梁迎春 袁博 袁福龙 郭永峰 闫永达
• 来源期刊: 黑龙江大学工程学报
• 学科: 化学
• 关键词: AFM 二氧化硅 化学热力学 化学动力学
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 化学化工与环境科学
• 页码范围: 51-57
• 分类号: O643
• 字数: 4210字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.2095-008X.2010.04.009

摘要

以原子力显微镜为工具,在空气条件下对单晶硅片表面加工得到下凹的三维微结构.给出了AFM金刚石针尖在对单晶硅的微加工中的化学反应和加工模型.对加工条件下发生的化学反应及其原理进行了理论分析.用化学热力学定律、化学动力学原理和相关的热力学数据自由能、生成热、化学键能、活化能等分析加工过程中发生的反应是空气中O2与单晶硅Si反应生成二氧化硅的过程;金刚石针尖磨损发生的反应主要是空气中O2与金刚石针尖C反应生成CO2的过程.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	梁迎春	哈尔滨工业大学机电学院	145	2341	26.0	39.0
2	朱宇君	黑龙江大学化学化工与材料学院	24	143	8.0	10.0
3	袁福龙	黑龙江大学化学化工与材料学院	54	576	12.0	22.0
4	闫永达	哈尔滨工业大学机电学院	34	237	9.0	13.0
5	郭永峰	哈尔滨工业大学机电学院	2	0	0.0	0.0
6	袁博	华南理工大学机械与汽车工程学院	7	108	5.0	7.0