CVD高纯钦过程中杂质Mn的热力学行为分析

• 作者: 曾英 李武斌 王舟 陈肖虎 韩涛
• 来源期刊: 轻金属
• 学科: 工学
• 关键词: Mn 热力学 高纯钛 杂质
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 66-69,77
• 分类号: TF823
• 字数: 2446字
• 语种: 中文

摘要

以卤化剂和海绵伙为原料,采用特殊的工艺设备,利用化学气相沉积(CVD)法制备高纯钛.对高纯钛伙设备过程中Mn的行为进行了热力学分析;在卤化源区73.15K-973. 15K条件下,杂质元素Mn与I形成MnI2;在沉积区温度1400K-1650K条件下,MnI2不发生分解,可以抑制杂质元素Mn的污染;文章结合实验条件对高纯钛中的杂质Mn的污染途径做了分析.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	陈肖虎	贵州大学材料与冶金学院	61	218	9.0	12.0
2	王舟	贵州大学材料与冶金学院	4	11	3.0	3.0
3	李武斌	贵州大学材料与冶金学院	8	23	3.0	4.0
4	韩涛	贵州大学材料与冶金学院	17	74	4.0	8.0
5	曾英	贵州大学材料与冶金学院	4	7	2.0	2.0