NF3冷凝器的优化和抽真空探讨

• 作者: 李华强
• 来源期刊: 上海轻工业
• 学科: 工学
• 关键词: NF3 冷凝器 多层绝热 抽真空工艺
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 33-35
• 分类号: TM92
• 字数: 3764字
• 语种: 中文

摘要

通过对NF3冷凝器的优化设计,采用多层绝热抽真空新技术,针对不同的影响因素,提出了有利于高真空获取与维持的解决方案.并将各种具体措施与抽真空工艺过程控制中的各个环节相匹配,从而制定出较为科学的现行抽真空工艺流程,由此制造出优质的NF3冷凝器.