集成真空电子学

• 作者: 冯进军
• 来源期刊: 真空电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 太赫兹 集成真空电子学 微加工 真空微电子学 微波管 LIGA技术
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 毫米波器件技术专题
• 页码范围: 1-7
• 分类号: TN101
• 字数: 3501字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1002-8935.2010.02.001

摘要

本文简述了集成真空电子学的基本概念和研究内容,综述了国内外集成真空电子学,利用微加工的太赫兹真空器件的发展状况,对相关的技术进行了分析和评述.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	冯进军	北京真空电子技术研究所大功率微波电真空器件技术国防科技重点实验室	84	447	12.0	17.0