基于流固耦合模型的微超声传感器仿真分析

• 作者: 刘娟 宋光德 官志坚 张慧 靳世久
• 来源期刊: 传感器与微系统
• 学科: 工学
• 关键词: 电容式微超声传感器 流体固体耦合 声压
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 所属期刊栏目: 研究与探讨
• 页码范围: 45-47
• 分类号: TP212.1
• 字数: 1530字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1000-9787.2010.12.014

摘要

建立了基于流体固体耦合单元的电容式微超声传感器(cMUT)的有限元模型,通过对模型进行 声场仿真分析,研究传感器阵列在不同介质中工作时的声场特性,如,谐振频率,发射声压等;分析了传感 器振动膜半径、空腔厚度以及传感器单元间距的变化对其发射声压幅值和带宽的影响.仿真分析的结果 表明:增大传感器的发射声压带宽,可以通过增大振动膜半径、减小空腔厚度或者减小传感器阵列中单元 的距离来实现。

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	靳世久	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	211	3002	28.0	42.0
2	宋光德	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	24	212	9.0	14.0
3	张慧	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	29	170	8.0	12.0
4	官志坚	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	5	66	4.0	5.0
5	刘娟	天津大学精密测试技术及仪器国家重点实验室	7	37	3.0	6.0