负压检测传感器研制

• 作者: 于炜 张莹 杨梅 陶瑛
• 来源期刊: 传感器世界
• 学科: 工学
• 关键词: 压阻式 压力传感器 封装工艺
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 研究动态
• 页码范围: 14-17
• 分类号: TP212.1
• 字数: 3551字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-883X.2010.05.003

摘要

本文介绍了一种用于便携式创伤恢复系统压力控制的,0～-50kPa硅压力传感器的结构设计、制作版图设计及制作工艺.此系统通过形成的负压环境,加快创伤愈合.测试结果表明这种结构的传感器具有较高的灵敏度和较高的精度,性能稳定可靠,便于携带,并可利用微机械加工技术实现低成本批量生产.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杨梅		3	8	2.0	2.0
2	于炜		4	9	2.0	2.0
3	张莹		4	6	1.0	2.0
4	陶瑛		3	7	2.0	2.0