UV-LIGA与微细电火花加工组合制造微细电解阵列电极

• 作者: 明平美 曾永彬 朱荻 李寒松 胡洋洋
• 来源期刊: 东南大学学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: UV-LIGA 微细电火花加工 微细电解加工 组合加工
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 页码范围: 106-110
• 页数: 5页
• 分类号: TG661
• 字数: 4401字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-0505.2010.01.020

摘要

采用UV-LIGA与微细电火花加工组合技术制造大长径比微细阵列电极.先通过UV-LI-GA技术制作微细群孔工具电极,然后通过电火花套料加工制作大长径比微细阵列电极.选取优化的工艺参数:前烘110℃保持12 h;三步后烘50℃保持5 min、70℃保持10 min、90℃保持30min;采用谐振式电火花电源,电压200 V、峰值电流1.5 A、脉宽3.2μs、脉间6.4μs、放电间隙12μm等,制备了直径85 μm、长1.5 mm,长径比达17.65的微细阵列电极.最后用制作出的微细阵列电极作为工具电极进行微细电解加工实验,在120μm厚不锈钢板上电解加工出直径150μm、形状均匀的微细阵列群孔结构.实验证明:UV-LIGA与微细电加工组合制造技术是一种可行的制作高深宽比微结构的方法;利用微细阵列电极进行电解加工,能实现高效和高精度加工.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	朱荻	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	237	3580	30.0	43.0
2	曾永彬	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	54	480	14.0	18.0
3	李寒松	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	42	294	10.0	15.0
4	明平美	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	17	404	12.0	17.0
5	胡洋洋	南京航空航天大学江苏省精密与微细制造技术重点实验室	16	221	9.0	14.0