碱溶性光敏丙烯酸树脂的合成及其在光成像体系中的应用

• 作者: 刘仁 刘晓亚 刘朋飞 张胜文 陈宁
• 来源期刊: 化工新型材料
• 学科: 工学
• 关键词: 光敏丙烯酸树脂 碱溶性 光成像 光致抗蚀剂
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 81-84
• 分类号: TQ32
• 字数: 4019字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-3536.2010.09.024

摘要

首先用自由基溶液聚合法合成羟基丙烯酸酯共聚物PHMSB,通过PHMSB上羟基和偏苯三酸酐(TMA)的酯化反应生成碱溶性树脂PHMSB-T,再用PHMSB-T上羧基与甲基丙烯酸缩水甘油酯(GMA)反应,以三步法合成了碱溶性光敏丙烯酸树脂PHMSB-T-G.重点讨论了催化剂种类、催化剂用量、反应温度对第二步反应转化率的影响,用红外光谱(IR)、核磁共振氢谱(1H-NMR)、凝胶渗透色谱(GPC)、元素分析、差示扫描量热法(DSC)等对所得树脂进行结构表征,初步探索了PHMSB-T-G在光成像体系中的应用.结果表明:以PHMSB-T-G为基体树脂的光致抗蚀剂图像分辨率可以达到25μm.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘晓亚	江南大学化学与材料工程学院	275	2088	22.0	30.0
2	刘仁	江南大学化学与材料工程学院	76	286	8.0	12.0
3	张胜文	江南大学化学与材料工程学院	50	259	8.0	13.0
4	陈宁	江南大学化学与材料工程学院	6	17	3.0	4.0
5	刘朋飞	江南大学化学与材料工程学院	4	13	2.0	3.0