简便型OLED团簇设备

• 作者: 王国立
• 来源期刊: 记录媒体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 蒸镀 功能模块 发光层 多层结构 有机薄膜 反应溅射 腔体内部 金属材料 旋涂 月卜
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 32-33
• 页数: 2页
• 分类号: TN873.93

摘要

本文简单介绍了一种小型团簇式OLED中试设备的设想,该设备具有常规OLED蒸镀封装主要制程所需的设备,按照团簇且便于安装的形式排布,可应用于开展各种复杂结构OLED器件的研究,同时可方便地进行机组功能扩展更换与拼接。该设备设想比较简便,投入也不大,适合OLED研发中试的对象使用。。

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序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王国立		1	0	0.0	0.0