变容真空泵真空度的测量与误差分析

• 作者: 王西龙 王超 罗根松 许涛
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 泵 真空 测量 分析
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 65-68
• 分类号: TB752.+2
• 字数: 5276字
• 语种: 中文

摘要

本文叙述了当前变容泵的真空度测量中所使用的主要仪器,测量过程中产生的测鼍误差,通过对比试验分析误差产生的原因和在实际工作中必须注意的问题.本文给出的分析结果和可行性方案对真空厂家和用户在实际应用中有参考意义.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	罗根松		26	75	5.0	7.0
2	许涛		5	15	2.0	3.0
3	王西龙		7	29	3.0	5.0
4	王超		1	0	0.0	0.0