TiO2-SnO2薄膜的湿敏性能研究

• 作者: 史志铭 王玉飞 闫龙 韩志萍
• 来源期刊: 硅酸盐通报
• 学科: 物理学
• 关键词: 氧化钛 薄膜 湿度敏感 离子掺杂
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 903-907
• 分类号: O484
• 字数: 2637字
• 语种: 中文

摘要

采用溶胶-凝胶工艺在印有梳状银电极的石英玻璃表面制备了不同含量Sn2+掺杂的氧化钛薄膜,通过烧结制得一系列湿敏元件,研究了Sn2+掺杂量、烧结温度和工作频率对薄膜湿敏性能的影响.研究表明,较低的工作频率下元件的湿敏性能较好;Sn2+的加入不同程度地降低了TiO2基薄膜的阻抗值,其中TiO2-15wt%SnO2薄膜表现出最高的灵敏度;薄膜高的湿敏性能与Sn2+掺杂引起的晶粒度变化以及热处理过程中的晶型转变有关.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	史志铭	内蒙古工业大学材料科学与工程学院	73	283	9.0	13.0
2	王玉飞	榆林学院化学与化学工程学院	23	87	5.0	8.0
3	韩志萍	榆林学院化学与化学工程学院	21	286	8.0	16.0
4	闫龙	榆林学院化学与化学工程学院	55	169	7.0	10.0