直流磁控溅射制备大面积AZO透明导电薄膜

• 作者: 严松涛 曾鹏举 范垂祯 许生 谭晓华 郭杏元
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 薄膜太阳能电池 大面积镀膜 掺铝氧化锌 磁控溅射
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 46-50
• 分类号: TB32|TB43
• 字数: 3640字
• 语种: 中文

摘要

采用直流磁控溅射工艺于200℃的玻璃基板制备了大面积AZO透明导电薄膜.重点研究了样品晶体结构、方阻、可见光透过率、样品形貌等随其位置变化的情况.研究表明,大面积AZO薄膜的晶体结构、可见光透过率、样品形貌等随样品位置变化比较小,大面积AZO样品均按C轴取向生长,表面平整,晶粒尺寸为20 nm左右.在本实验条件下获得的大面积AZO薄膜方阻在86～110 Ω/□范围内,方阻线性变动率为28%,样品电阻率为6.34～7.26×10-4 Ω·cm,可见光平均透过率均高于87%.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	许生		10	149	5.0	10.0
2	范垂祯		10	149	5.0	10.0
3	郭杏元		1	8	1.0	1.0
7	曾鹏举	深圳大学光电子学研究所	8	62	3.0	7.0
8	谭晓华		1	8	1.0	1.0
9	严松涛		1	8	1.0	1.0