128×128短波/中波双色红外焦平面探测器

• 作者: 丁瑞军 何力 叶振华 尹文婷 廖亲君 林春 胡伟达 胡晓宁 陈洪雷 陈路 黄建
• 来源期刊: 红外与毫米波学报
• 学科: 工学
• 关键词: HgCdTe 湿化学腐蚀方法 双色微台面隔离 峰值探测率
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 415-418
• 分类号: TN305.7|TN304.2+5
• 字数: 3161字
• 语种: 中文

摘要

首次在国内报道了128×128面阵短波/中波(SW/MW)双色碲镉汞(HgCdTe)红外焦平面探测器(infrared focal plane arrays, IRFPAs)的研究成果.基于由采用分子束外延(MBE)和原位掺杂技术生长的p-p-P-N型碲镉汞(Hg1-xCdxTe)多层异质结材料,通过B+注入、台面腐蚀、台面侧向钝化和爬坡金属化,以及双色探测芯片与读出电路(Readout Integrated Circuit,ROIC)混成互连等工艺,得到了128×128面阵双色焦平面探测器.通过湿化学腐蚀方法的优化,将光敏元尺寸为(50×50)μm2的双色微台面探测器的占空比提高了一倍.该面阵双色红外焦平面探测器具有较好的均匀性和正常的光电特性.在液氮温度下,二个波段的光电二极管截止波长λc分别为2.7μm和4.9μm,对应的峰值探测率D*λp分别为1.42×1011cmHz1/2/W和2.15×1011 cmHz1/2/W.