一种集成型双稳态微电磁继电器工艺及动态性能的研究

• 作者: 丁桂甫 孔令飞 戴旭涵 苗晓丹 赵小林
• 来源期刊: 南京师大学报（自然科学版）
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统 电磁继电器 碰撞 动态测试
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 页码范围: 40-44
• 分类号: TP212
• 字数: 3541字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1001-4616.2010.03.008

摘要

介绍了一种集成型双稳态微电磁继电器,利用金属基表面微加工技术和体微加工技术成功完成了弹簧和起气隙作用的SU-8垫片的集成制造.用Ansys和Matlab软件对其进行初步的研究设计仿真,证明了设计的可行性.并研究了该继电器的双稳态性能,分析了该微电磁继电器的动态特性,探讨了触点间产生碰撞的原因以及消除抖动的方法,为实现下一代体积更小、损耗更低、响应时间更短的继电器打下了良好的基础.