基于87C196KB的自动真空测控系统研究

• 作者: 李桂平 黄有全
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 真空 测量 控制 设计
• 年，卷（期）: 2010,（6）
• 页码范围: 59-62
• 分类号: TP202
• 字数: 3347字
• 语种: 中文

摘要

传统真空镀膜机的测量控制系统结构复杂、工作可靠性差、故障率高.用以16位单片机为核心的真空自动测量控制系统更新原控制系统后,对真空度、冷却水温、加热电流及各工作状态能进行实时测量,自动控制真空工作的全过程,能检测故障并自动采取相应的对策.实际应用结果表明,该控制系统是有效的.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	黄有全	长沙民政学院电子信息工程系	23	53	4.0	6.0
2	李桂平	长沙民政学院电子信息工程系	19	32	3.0	4.0