激光数字光学平面玻璃表面检测系统技术研究

• 作者: 冯明德 屈少波 莫卫东
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 相干光学 干涉波面数字化 Zernike多项式 光学玻璃表面检测
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 激光技术与应用
• 页码范围: 7-9
• 分类号: O436
• 字数: 2600字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2010.03.002

摘要

干涉波面数字化和测量分析处理方法是激光数字平面检测系统中的核心技术,只有掌握了此核心技术的关键内容,才能够真正实现对光学平面的快速高精度检测.对光学干涉波面的拟合函数系的选择、拟合算法、系统像差以及被测表面平面误差类型进行了理论分析和算法优化,并进行了实验测试,完成了系统的构建.发现了Zernike多项式阶选择法则,提出被测光学表面误差类型的判别标准以及一种全新的在"Zernike像差空间"确定激光数字光学平面检测系统精度的理论和方法,为实现检测自动化奠定了理论基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	莫卫东	空军工程大学理学院	23	175	7.0	13.0
2	冯明德	空军工程大学理学院	19	37	4.0	5.0
3	屈少波	空军工程大学理学院	1	1	1.0	1.0