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摘要:
当软轴型单晶炉提拉系统工作在某一转速附近时,其重锤摆动量会显著增大,严重影响单晶生长质量.为解决此问题,需要建立该系统的数学模型来研究提拉系统的动力学特性.本文在对提拉系统工作原理分析的基础上,应用Lagrange第二类方程建立了考虑该系统面内、面外振动的四自由度非线性振动微分方程.导出了该非线性模型的近似线性模型,对非线性模型响应与线性模型响应做了比较.进一步分析了系统的稳定性,应用Campbell图得到了考虑回转惯性效应后系统的临界转速.通过数值仿真定量说明了减小对中误差和增大阻尼可以减小重锤系统最大摆动幅值.
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文献信息
篇名 软轴型单晶炉提拉系统的振动建模与分析
来源期刊 人工晶体学报 学科 物理学
关键词 单晶炉 提拉法 重锤摆动 动力学特性
年,卷(期) 2010,(2) 所属期刊栏目
研究方向 页码范围 545-551
页数 分类号 O78
字数 3806字 语种 中文
DOI
五维指标
作者信息
序号 姓名 单位 发文数 被引次数 H指数 G指数
1 原大宁 西安理工大学机械与精密仪器工程学院 67 724 15.0 23.0
2 世家伟 西安理工大学机械与精密仪器工程学院 1 5 1.0 1.0
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研究主题发展历程
节点文献
单晶炉
提拉法
重锤摆动
动力学特性
研究起点
研究来源
研究分支
研究去脉
引文网络交叉学科
相关学者/机构
期刊影响力
人工晶体学报
月刊
1000-985X
11-2637/O7
16开
北京朝阳区红松园1号中材人工晶体研究院,北京733信箱
1972
chi
出版文献量(篇)
7423
总下载数(次)
16
总被引数(次)
38029
相关基金
国家自然科学基金
英文译名:the National Natural Science Foundation of China
官方网址:http://www.nsfc.gov.cn/
项目类型:青年科学基金项目(面上项目)
学科类型:数理科学
论文1v1指导