自支撑金刚石厚膜脱离基体前后的残余应力研究

• 作者: 吕反修 吴兰鹰 唐达培 李映辉 高庆
• 来源期刊: 真空
• 学科: 工学
• 关键词: 自支撑金刚石厚膜 残余应力 本征应力 有限元法
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 真空冶金
• 页码范围: 52-56
• 页数: 5页
• 分类号: TB34|TB43|TB12
• 字数: 3457字
• 语种: 中文

摘要

运用ANSYS软件建立了有限元模型,对直流等离子体喷射制备的自支撑金刚石厚膜在脱离基体前、后的残余应力分别进行了数值模拟.为了使模拟更接近于金刚石膜的真实制备环境,本文取消了以往对金刚石膜或基体内的温度场常作的均匀或线性的人为假设,而采用对从磁控直流等离子体炬内喷射出的射流仿真计算结果.结论如下:(1)金刚石膜脱离基体之前.金刚石厚膜内的热残余应力呈空间应力状态.第一主应力在膜层中心以外的大部分地方均为拉应力,易引起膜开裂破坏;膜/基界面上极大的剪切应力是引起金刚石膜从基体上脱离的主要原因.(2)金刚石膜脱离基体之后,热残余应力绝大部分被释放,膜内最终的残余应力可认为是本征应力.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐达培	西南交通大学力学与工程学院	25	229	7.0	14.0
2	高庆	西南交通大学力学与工程学院	133	1854	24.0	32.0
3	李映辉	西南交通大学力学与工程学院	94	418	11.0	15.0
4	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
5	吴兰鹰	北京科技大学应用学院	11	55	3.0	7.0