有效提高半导体设备可靠性的故障树分析法

• 作者: 袁秀丽
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 故障树分析法 定性分析 定量分析 可靠性
• 年，卷（期）: 2010,（7）
• 页码范围: 647-649
• 分类号: TH165
• 字数: 2025字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.07.008

摘要

通过对故障树分析法的运用,建立了半导体设备系统的故障树.对该故障树进行了定性分析和定量分析,求解出故障树的最小割集.分析了该系统的薄弱环节,并采取补救措施.通过对采取措施前后故障树顶事件发生概率和系统可靠度的计算、分析、比较,证明了故障树分析法是一种有效可行的提高半导体设备可靠性的分析方法,该方法也适用于其他设备仪器.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	袁秀丽	中国电子科技集团公司第十三研究所	6	11	2.0	3.0