郎奇法检测大口径光学非球面镜

• 作者: 周晨波 王刚 王同乐 赵亚伟 郭冰
• 来源期刊: 光学与光电技术
• 学科: 物理学
• 关键词: 朗奇光栅 郎奇条纹 Zygo干涉仪 大口径非球面
• 年，卷（期）: 2010,（2）
• 所属期刊栏目: 光电测量
• 页码范围: 46-49
• 页数: 4页
• 分类号: O437
• 字数: 2059字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-3392.2010.02.012

摘要

提出了一种用朗奇法定量检测大口径非球面的新技术.主要以大口径非球面镜的加工表面为研究对象,设计了大口径非球面检测系统,该系统由CCD摄像机、He-Ne激光器、郎奇光栅、微型计算机等组成.并利用大口径非球面检测系统对一个顶点曲率半径为1 638.69 mm,被测曲面半通光口径为315 mm的光学元件的面形进行了实际测量,给出了光学元件标准偏差和峰谷值测量结果.最后对测量结果进行了讨论.研究结果表明:基于郎奇法的几何原理,利用CCD摄像系统定量检测大口径非球面的方法具有较高的精度.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	赵亚伟	烟台大学光电信息学院	5	41	3.0	5.0
2	王刚	烟台大学光电信息学院	14	64	5.0	7.0
3	周晨波	烟台大学光电信息学院	13	76	5.0	8.0
4	王同乐	烟台大学光电信息学院	1	2	1.0	1.0
5	郭冰	烟台大学光电信息学院	3	9	2.0	3.0