四氟化硅气体中杂质的检测方法

• 作者: 关星宇 唐安江 韦德举 高珊珊
• 来源期刊: 无机盐工业
• 关键词: 四氟化硅 气相色谱仪 傅里叶红外光谱仪 质谱仪 微波波谱仪
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 57-59
• 分类号: TQ127.2
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1006-4990.2010.12.019

摘要

介绍了四氟化硅气体中几类杂质的检测方法,主要包括气相色谱法、傅里叶变换红外光谱法、质谱法和微波波谱法.用气相色谱仪可以检测出四氟化硅中气体中C1~C4碳氢化合物;用高分辨率傅里叶变换红外光谱仪可以检测出SiF3OH,HF,SiF3H,SiF2H2,SiH3F,CO2,CO等气体杂质;用微波波谱仪可以检测出四氟化硅中CHF3,CH2F2,CH3F等气体杂质;用质谱仪可以检测出四氟化硅中SiF3H,SiF2H2,SiF3OSiF3等气体杂质.通过对比得出每种检测方法的优点和缺点.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐安江		24	75	5.0	7.0
2	韦德举		4	10	2.0	3.0
3	高珊珊		12	33	4.0	4.0
4	关星宇		4	4	2.0	2.0