微型PCR系统及其温控特性研究

• 作者: 刘泽文 司卫华 国石磊 田昊 秦健
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: PCR芯片 MEMS 微加热器 温控特性
• 年，卷（期）: 2010,（12）
• 页码范围: 1204-1208
• 分类号: TN4
• 字数: 2918字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.12.015

摘要

介绍了一种基于芯片的微型聚合酶链式反应(polymerase chain reaction,PCR)系统,利用该系统进行了温度控制和响应特性研究.系统由PCR芯片、封装PCB板及单片机控制系统组成.PCR芯片采用MEMS技术制作.用微型PCR系统对芯片上含有微加热器的反应仓进行了升温降温、循环温度和液体负载对比加热等实验.结果显示:微加热器升温速度可以达到3 ℃/s,降温速度可以达到1℃/s,稳定后温度变化小于0.1 ℃.通过实验结果与理论计算的对比,分析了微加热器的最高温度与加热功率之间的对应关系及提高温控特性的关键因素.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘泽文	清华大学微电子所	50	169	7.0	10.0
2	司卫华	清华大学微电子所	2	5	1.0	2.0
3	田昊	大连理工大学辽宁省微纳米技术及系统重点实验室	3	16	2.0	3.0
4	秦健	湖南大学物理与微电子科学学院	2	14	2.0	2.0
5	国石磊	清华大学微电子所	1	5	1.0	1.0