晶体行为对SUS304钢表面溅射蚀刻圆锥状碳化物生成的影响

• 作者: 中佐啓治郎 加藤昌彦 张清廉 王荣光
• 来源期刊: 宝钢技术
• 学科: 工学
• 关键词: 晶系 晶格缺陷 SUS304不锈钢 溅射蚀刻 圆锥状碳化物
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 分析与研究
• 页码范围: 48-53
• 页数: 6页
• 分类号: TG174.3+1
• 字数: 4215字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-0716.2010.01.012

摘要

研究用射频磁控溅射设备对SUS304钢表面进行600 W×14.4 ks或600 W×28.8 ks 的Ar+溅射蚀刻处理,并用SEM、SIM和EBSP对表面形貌进行微观表征.结果表明:600W溅射蚀刻功率下,圆锥状碳化物不仅沿晶界生成,而且在晶粒表面内大面积生成.其大小和分布密度在{111}面最大,依次按{110}面和{100}面的顺序递减,并于位错等晶体缺陷处优先成核生长.但是,随着时间的延长,晶体取向对碳化物的生长没有直接的影响,微细凸起物形成的碳化物层覆盖试验片,并在局部生成尖而细的凸起物.