大型精密转台高精度角度微驱动装置的研制

• 作者: 刘伟 刘轩 田兴志 田学光
• 来源期刊: 光学精密工程
• 学科: 工学
• 关键词: 大型精密转台 角度微驱动装置 角位移转换机构
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 所属期刊栏目: 微纳技术与精密机械
• 页码范围: 1112-1118
• 分类号: TH703|TP273
• 字数: 3999字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3788/OPE.20101805.1112

摘要

针对用于标定和检测的大型精密转台(要求其定位误差≤±0.5″),研制了高精度角度微驱动装置.介绍了转台的总体结构,给出了角度微驱动装置的驱动原理和构成.该角度微驱动装置主要通过一个角位移转换机构把精密直线位移转化为精密角位移来实现高的角度分辨率,其在驱动转台旋转的过程中几乎不给转台带来轴向力和径向力,因此不影响转台的轴系精度.为了满足定位要求,转台设计采用了粗精结合、二次定位的方法,即先采用力矩电机进行粗定位,然后使用角度微驱动装置来实现精定位.最后,从理论上计算了角度微驱动装置的分辨率并进行了测试和应用验证,证明此角度微驱动装置的分辨率优于0.08″,满足转台定位精度要求.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	田兴志	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	13	226	7.0	13.0
2	刘伟	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	422	5903	37.0	59.0
3	刘轩	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	4	77	4.0	4.0