直流电弧等离子体区域电弧分布特征对自支撑金刚石膜性质的影响

• 作者: 刘金龙 吕反修 李成明 王李梅 陈良贤 黑立富
• 来源期刊: 人工晶体学报
• 学科: 物理学
• 关键词: 直流电弧等离子体 区域电弧分布 自支撑金刚石膜
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 页码范围: 900-905
• 分类号: O484
• 字数: 3012字
• 语种: 中文

摘要

直流电弧等离子体喷射法制备自支撑金刚石膜时,电弧区域可分为弧心、弧干和弧边三个区域.本文运用扫描电子显微镜(SEM)、X射线衍射(XRD)、激光Raman光谱、正电子湮没寿命谱(PAL)和力学性能实验机研究了同一块自支撑金刚石膜不同区域的生长面形貌、晶体取向、内应力、空位缺陷和断裂强度.结果表明:随着与直流电弧等离子体弧心距离增加金刚石膜生长更稳定,(220)取向晶粒减少,平均空位缺陷减少,内应力和断裂强度呈现先增大后减小的趋势.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	吕反修	北京科技大学材料科学与工程学院	151	1208	18.0	24.0
2	黑立富	北京科技大学材料科学与工程学院	39	153	6.0	10.0
3	李成明	北京科技大学材料科学与工程学院	71	480	12.0	19.0
4	陈良贤	北京科技大学材料科学与工程学院	34	69	4.0	5.0
5	刘金龙	北京科技大学材料科学与工程学院	34	82	5.0	7.0
6	王李梅	北京科技大学材料科学与工程学院	2	10	2.0	2.0