基于MEMS技术的微型阀研究

• 作者: 唐周强 宦飞 张晰哲 管海兵 韩先伟
• 来源期刊: 火箭推进
• 关键词: 微机电系统 微推进系统 静电微型阀 压电微型阀
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 研究与设计
• 页码范围: 8-12
• 页数: 5页
• 分类号: V432
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-9374.2010.01.002

摘要

根据微机电系统(MEMS)技术和微型阀技术的研究现状与发展趋势,在微型阀致动机理分析和性能对比的基础上,通过对微型阀结构的理论计算和数值模拟,论证了静电致动和压电致动两种微型阀方案,确定了微推进系统用微型阀的主要技术参数和性能指标;通过结构设计和MEMS工艺攻关,完成了基于MEMS技术的压电致动微型阀原理样件制造,并进行了初步的原理试验验证和性能检测.结果表明,基于MEMS技术的压电致动微型阀原理可行,方案合理;通过进一步的结构优化,解决多层键合和系统封装工艺,可以获得高性能的微型阀,为小型、轻质和集成化微推进系统研制奠定基础.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	宦飞	上海交通大学信息安全工程学院	14	194	9.0	13.0
2	管海兵	上海交通大学信息安全工程学院	43	213	8.0	11.0
3	韩先伟		8	31	4.0	5.0
4	张晰哲		3	12	2.0	3.0
5	唐周强		1	5	1.0	1.0