金刚石单线切割设备及切割技术

• 作者: 杨生荣 王仲康
• 来源期刊: 电子元器件资讯
• 学科: 工学
• 关键词: 恒张力控制 切断 切方 曲线切割
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 半导体材料生长、加工设备
• 页码范围: 30-32
• 分类号: TN3
• 字数: 1942字
• 语种: 中文

摘要

本文着重介绍了金刚石单线切割机的发展技术背景,并就中国电子科技集团公司第四十五研究所基于金刚石线切割自主研发的JXQ-401单线切割机详细的介绍,性能特点,关键技术以及切割工艺实验分析,就金刚石线切割机理分析以及应用进行了初步的探讨.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	王仲康		4	11	2.0	3.0
2	杨生荣		3	11	2.0	3.0