硅中磷的SIMS分析

• 作者: 何友琴 王东雪 马农农
• 来源期刊: 现代仪器与医疗
• 关键词: 硅 二次离子质谱 相对灵敏度因子 磷 质量分辨率
• 年，卷（期）: 2010,（3）
• 所属期刊栏目: 研究报告
• 页码范围: 32-33
• 分类号: O6
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1672-7916.2010.03.009

摘要

本文采用相对灵敏度因子法,对硅中磷含量的SIMS定量分析方法进行研究.并通过提高质量分辨率的方法降低背景,使磷的检测限达到1.0×1014 atoms/cm3,进而成为高纯硅样品中磷杂质含量的最可行的检测手段.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	马农农		5	22	3.0	4.0
2	何友琴		4	21	3.0	4.0
3	王东雪		3	20	3.0	3.0