一种用于金刚石膜沉积装置的重入式微波谐振腔

• 作者: 于盛旺 唐伟忠 李晓静 胡浩林 许恒志 高春雨
• 来源期刊: 真空
• 学科: 物理学
• 关键词: 重入式谐振腔 数值模拟 电场分布 金刚石膜
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 9-12
• 分类号: O441.4
• 字数: 2505字
• 语种: 中文

摘要

微波等离子体化学气相沉积法(MPCVD)是制备高品质金刚石膜的重要方法,而MPCVD技术的关键是其设备核心部件谐振腔的设计.本文基于目前广泛应用的圆柱式和椭球式两种MPCVD谐振腔中微波传输的特点和其各自的优点,提出了一种重入式微波谐振腔的设计构想,并利用数值模拟的方法对这一构想进行了验证.模拟的结果表明,微波在重入式微波谐振腔内外壁之间的路径传输后,可在金刚石膜沉积台处形成一最强且相对均匀的电场.在相同的输入功率下,其形成的最大电场强度高于圆柱式和椭球式两种谐振腔时的情况.由于重入式的微波谐振腔具有结构简单、频率易于调节的优点,因而这一构想可为设计制造新型的MPCVD金刚石膜沉积设备提供参考依据.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	唐伟忠	北京科技大学材料科学与工程学院	106	860	16.0	21.0
2	李晓静	北京科技大学材料科学与工程学院	54	299	10.0	13.0
3	许恒志	北京科技大学材料科学与工程学院	2	0	0.0	0.0
4	于盛旺	北京科技大学材料科学与工程学院	10	79	5.0	8.0
5	胡浩林	北京科技大学材料科学与工程学院	3	4	1.0	2.0
6	高春雨		6	7	2.0	2.0