新型高精度二维微调反射镜结构设计

• 作者: 司丽娜 秦少伟 聂晓倩 邵帅 高云国
• 来源期刊: 工程设计学报
• 学科: 工学
• 关键词: 微调镜 二维 圆弧面 高精度
• 年，卷（期）: 2010,（5）
• 页码范围: 396-400
• 分类号: TH12
• 字数: 2299字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3785/j.issn.1006-754X.2010.05.016

摘要

为了补偿激光器出射光束的漂移,提高激光发射系统的准直精度,设计了一个二维角度微调反射镜机构.该系统采用同基体双层结构,应用小曲率大圆弧面和小倾角平面相切运动实现角度微调,且具有手动/自动两种调节模式.新型二维微调机构除了能达到高精度、高稳定性角度调节之外,且安装方便,体积小,调节轻便,在有、无重力的条件下均能正常使用,既可用于光路的调节,也可用于航空航天、民用工业等其他要求高精度角度调节的领域.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	高云国	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	77	808	16.0	24.0
2	邵帅	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	31	237	8.0	14.0
3	司丽娜	中国科学院长春光学精密机械与物理研究所	6	27	3.0	5.0