新型亚纳秒切断半导体开关器件研制

• 作者: 刘忠山 刘英坤 崔占东 杨勇 马红梅
• 来源期刊: 半导体技术
• 学科: 工学
• 关键词: 漂移阶跃恢复器件 等离子体 半导体切断开关 脉冲开关 脉冲发生器
• 年，卷（期）: 2010,（4）
• 所属期刊栏目: 器件制造与应用
• 页码范围: 337-339
• 页数: 3页
• 分类号: TN313.6
• 字数: 1802字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1003-353x.2010.04.010

摘要

介绍了一种新型亚纳秒切断全固态高功率脉冲开关器件,阐述了其工作机理.该器件利用器件体内等离子体特殊的恢复过程来完成电流的迅速切断.采用多层Si片叠加的制造工艺技术,单个器件反向工作峰值电压大于2kV,电流切断时间小于800ps,脉冲峰值功率可达80kW.该器件具有易串并联、抖动小等优点.基于该器件制作的脉冲发生器具有体积小、可靠性高、使用寿命长、脉冲重复频率高、输出波形稳定等特点.当采用器件串联电路连接时,可以获得几十千伏以上的高压快速脉冲.采用该器件制作的脉冲发生器在国防、医疗等领域具有广阔的应用前景.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	刘英坤	中国电子科技集团公司第十三研究所	30	183	8.0	12.0
2	杨勇	中国电子科技集团公司第十三研究所	33	79	4.0	8.0
3	崔占东	中国电子科技集团公司第十三研究所	10	29	3.0	5.0
4	马红梅	中国电子科技集团公司第十三研究所	5	14	3.0	3.0
5	刘忠山	中国电子科技集团公司第十三研究所	7	15	3.0	3.0