棒状纳米ZnO薄膜晶体管效应的测定

• 作者: 寿崇琦 徐磊 杨文 林栋
• 来源期刊: 山东化工
• 学科: 工学
• 关键词: 纳米氧化锌 纳米氧化锌旋涂膜 薄膜晶体管(TFT)
• 年，卷（期）: 2010,（9）
• 页码范围: 1-4
• 分类号: TN321+.5
• 字数: 2457字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1008-021X.2010.09.001

摘要

分别采用水热法和微乳法制得了两种直径为10～40nm和60～70nm的棒状纳米ZnO材料;然后将制得的纳米材料乙醇溶液旋涂到石英基片上,将其中一部分旋涂膜进行煅烧,最后将经过煅烧和未经过煅烧的旋涂膜基片采用top-contact的方法镀上电极制成薄膜晶体管进行场效应的测定;实验表明:对于直径不同和同种样品旋涂膜经不同处理的场效应参数存在明显的差异,特别是电子迁移率,直径较大的未经煅烧的纳米ZnO旋涂膜的电子迁移率可以达到μ=156cm2V-1s-1.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	寿崇琦	济南大学化学化工学院	75	505	11.0	18.0
2	林栋	济南大学化学化工学院	8	33	3.0	5.0
3	杨文	济南大学化学化工学院	5	28	3.0	5.0
4	徐磊	济南大学化学化工学院	7	49	3.0	7.0