多束SPPs干涉成像模拟研究

• 作者: 李群华 杜惊雷 杨黠 郑宇
• 来源期刊: 四川理工学院学报（自然科学版）
• 学科: 物理学
• 关键词: 多束SPPs 干涉光刻 光子晶体 模拟研究
• 年，卷（期）: 2010,（1）
• 所属期刊栏目: 电子与自动化技术
• 页码范围: 91-94
• 页数: 4页
• 分类号: O436.1
• 字数: 1580字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1673-1549.2010.01.029

摘要

多束SPPs干涉光刻是一种可突破衍射极限的新型纳米加工方法.在分析SPPs激励和传输机理基础上,建立多束SPPs干涉成像模型,编制了能快速准确地计算多束SPPs干涉光刻成像的仿真软件.并在此基础上对多束SPPs的干涉像进行了模拟,发现如果将两束光增加到四束或八束光激发SPPs干涉,则可获得二维分布的周期性光斑点阵,在制作纳米光子晶体材料方面有很强的应用前景.随着入射SPPs的增加,当棱锥棱数足够多近似于一个圆锥时,干涉场会形成一系列的同心圆结构,可考虑实现纳米级波带片的制作.

作者信息

序号	姓名	单位	发文数	被引次数	H指数	G指数
1	杜惊雷	四川大学物理科学与技术学院	77	611	13.0	18.0
2	郑宇	武警成都指挥学院教研部	6	11	2.0	2.0
6	杨黠	四川理工学院理学院	8	10	2.0	3.0
7	李群华	武警成都指挥学院教研部	2	2	1.0	1.0