MEMS系统级仿真中的一种变截面梁建模方法

• 作者: 常洪龙 焦文龙 牛昊彬 苑伟政 郝星
• 来源期刊: 微纳电子技术
• 学科: 工学
• 关键词: 微机电系统(MEMS) 系统级建模 变截面梁 矩阵结构分析理论 加速度计
• 年，卷（期）: 2010,（8）
• 页码范围: 484-489,502
• 分类号: TH703
• 字数: 3064字
• 语种: 中文
• DOI: 10.3969/j.issn.1671-4776.2010.08.005

摘要

根据矩阵结构分析理论和弹性力学理论建立了一种宽度随长度线性变化的变截面线性梁力学模型,采用硬件描述语言实现了其参数化系统级组件.基于该组件进行的系统级仿真结果与有限元仿真结果相比,静态分析和频域分析的最大误差分别为0.75%和0.84%.含变截面悬臂梁的蟹腿式平面微加速度计的系统级仿真结果与有限元仿真结果相比,频域和时域分析的最大误差分别为3.60%和3.65%;系统级时域分析耗时仅为4 min,而有限元则为56 min,表明在保证较高仿真精度的前提下,系统级仿真速度相比有限元提高了近10倍.